高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。
是其反应机理为：
H2S+O2、O2-、O2+SO3+H2O
NH3+O2、O2-、O2+NOx+H2O
VOCs+O2、O2-、O2+SO3+CO2+H2O
从上述反应来看，恶臭组分经过设备处理后，将转变为NOx、SO3、H2O等小分子，在一定的浓度下，各种反应的转化率均在95%以上，而且恶臭浓度较低，因此产物的浓度极低，均能被周遍的大气所接受。
等离子体又叫非热平衡等离子体，它的能量密度较低，重粒子温度接近室温而电子温度却极高，电子与